技术编号:3294971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种研磨液分配臂,属于半导体;研磨液分配臂位于研磨台面正上方,其可以包括包括第一机械臂、第二机械臂和控制模块,所述第一机械臂与所述第二机械臂的一端连接,所述第二机械臂的另一端设置有研磨液输出口,所述控制模块通过控制所述第一机械臂摆动、所述第二机械臂摆动和研磨液输出口的转动,以实现所述研磨液输出口研磨液喷洒方向的控制;本发明中,通过所述控制模块控制所述第一机械臂摆动、所述第二机械臂摆动和研磨液输出口的转动,不但可以实现流量的控制,还可以调整研磨液输...
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