技术编号：3295304
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高性能的氧化铌靶材，其由以下质量比原料制成89~98.8%氧化铌粉体，0.2~1%活化剂碳粉，1~10%还原剂，所述还原剂选自铌粉或钽粉。本发明同时还提供了上述氧化铌靶材的制备方法。本发明具有以下优点（1）制备方法效率高靶材烧结周期短，只有10~15小时；（2）靶材性能优密度高，可达到相对密度的99.95%以上；导电性好，电阻率3×10-3~9×10-3Ω·cm；致密性均一、无坑点。专利说明ー种高性能氧化铌靶材及其制备方法[0001]本发明涉...
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