抛光装置及使用该抛光装置的抛光方法技术资料下载

技术编号:3295954

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本发明提供一种抛光装置及使用该装置的抛光方法,对于加工对象物上高度以及倾斜角发生变化的加工面能够可靠执行抛光加工处理。其具备抛光工具(1),其具有对加工对象物(105)上高度及倾斜角发生变化的加工面进行旋转按压的按压部(13);工具驱动装置(2),其使抛光工具(1)移动;应变传感器(14a、14b),其检测抛光工具(1)的应变量;计算机(3),其基于应变传感器(14a、14b)检测出的应变量运算按压部(13)在加工对象物(105)的加工面的法线方向上的按压...
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