技术编号:3296528
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种,抛光垫修整器结构包含具有特定轴向的蓝宝石芯片本体及保护膜,蓝宝石芯片本体的上表面具有微结构,保护层覆盖该蓝宝石本体的上表面,微结构的高度误差小于平均高度的5%,该方法包含芯片单元形成步骤、影像转移步骤、热处理步骤及保护层形成步骤,芯片单元形成步骤形成特定轴向的蓝宝石芯片,影像转移步骤以半导体制程的影像转移方式形成微结构,得到蓝宝石芯片本体,热处理步骤减少晶格缺陷,保护层形成步骤在蓝宝石芯片本体上形成保护层,达到提升机械及化学的抗磨耗、抗蚀效...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。