一种亲水型非规整多层减反射膜及其制备方法技术资料下载

技术编号:3296767

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本发明属于太阳光伏电池,公开了,该减反射膜在基体层表面设有由TiO2膜层和SiO2膜层交替组成的多层膜结构,且靠近基体表面的第一层为TiO2膜层,靠近空气界面的最外层为SiO2膜层;所述多层膜结构的厚度为300nm-350nm。采用电子束蒸发技术镀膜制备该减反射膜。该减反射膜针对现有TiO2系减反射膜透过率不高和亲水性的不足,将TiO2和SiO2两种薄膜交替沉积形成成多层非规整型减反膜,该多层减反射膜可实现光的高透过和亲水性。专利说明[0001]本发明属于...
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