技术编号:3296981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,包括以下步骤先将磨料固化到研磨垫中,得到固定磨料研磨垫,作为研磨介质;再将碳化硅衬底置于固定磨料研磨垫上方,利用研磨设备使固定磨料研磨垫旋转,并加入冷却润滑剂,进行碳化硅衬底表面的加工,得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。通过本发明的技术创新,可以大大简化碳化硅衬底加工工艺步骤,降低研发及生产设备投入,提高加工效率,节约磨料、保护人员和环境,得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。专利说明[0001]本发明涉及,属于碳化硅衬底表面加工。背景技术[0002]...
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