技术编号:3298596
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种基片装载架与磁导轨的连接结构,包括基片装载架、磁导轨和绝缘块,所述磁导轨上有第一螺纹孔,绝缘块上相应位置有沉孔,沉头螺钉通过沉孔和第一螺纹孔将绝缘块固定在磁导轨上;基片装载架上开有通孔,绝缘块相应位置处有第二螺纹孔,固定螺栓穿过通孔与第二螺纹孔配合,从而将装载架固定在绝缘块上,所述固定螺栓的螺帽与螺纹段之间有挡块,所述挡块的径向长度大于所述通孔的深度,所述固定螺栓的螺纹段径向长度小于第二螺纹孔的深度。本发明选用特定的固定螺栓,保证螺栓不会不接...
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