技术编号:3298663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种。该利用成膜装置在上述多个基板上形成含有第1元素及第2元素的掺杂氧化膜,该包括以下工序成膜工序,从上述第1气体供给部供给含有上述第1元素的第1反应气体,从上述第2气体供给部供给氧化气体,在上述基板上形成含有上述第1元素的氧化膜;以及掺杂工序,从上述第1气体供给部和上述第2气体供给部中的一者供给含有上述第2元素的第2反应气体,从上述第1气体供给部和上述第2气体供给部中的另一者供给非活性气体,在上述氧化膜上掺杂上述第2元素。专利说明[0001]本...
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