技术编号：3298766
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及靶材制造领域，尤其涉及，选用纯度4N以上银原料，利用大气熔炼或真空熔炼方法将银原料熔融，并将熔汤浇铸，再冷却形成铸锭坯料，将步铸锭坯料立即进行保温热处理，在400~900℃温度范围进行保温均化，保温时间0.5h以上，然后进行热轧延或者空气锤锻打，形成银坯，对银坯进行冷轧延，形成冷轧坯，将冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为350~700℃，时间为0.5小时~3小时，获得晶粒细小且均匀的银靶坯，最终通过机床加工即可获得大尺寸银靶材，该工艺具有较高的...
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