技术编号:3299012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种,是将锌源和锑源按质量比为51充分混合制成反应源材料,所述锌源为纯度至少为99.99%的固态Zn粉,所述锑源为纯度为99.999%的Sb2O3粉与纯度为99.99%的Sb粉的混合物,Sb2O3粉与Sb粉的质量比为21;将反应源材料及衬底放入石英舟内,衬底位于反应源材料下方1.5cm处,然后再将石英舟放入化学气相沉积系统生长室内的高温加热区,生长室内的压力为10Pa,生长温度为600℃,载气为流量300sccm的高纯氩气,氧气流量为20sccm...
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