技术编号:3299014
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜材料,尤其涉及一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机,包括真空室、双极脉冲磁控溅射靶、矩形的阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源、阴极电弧源、工件架和支座,所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源和阴极电弧源分别通过五组单独的开关控制。本发明通过以上结构,不仅可以制备纯金属、合金、反应膜层,还可以制备多元、多层纳米复合涂层,含氧涂层,以满足形状和大小不一的金属切削刀具,达到高速加工的要求。专利...
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