技术编号:3299189
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种采用CrO2N+DLC即氮氧化铬+类金刚石膜复合涂层的PCB微细刀具的工艺,利用高真空多弧靶高离化磁过滤等离子体DLC沉积设备,通过清洗干燥、拋研、预处理、沉积氮氧化铬和类金刚石膜双层涂层等步骤完成。使用CrO2N+DLC复合涂层的PCB微细刀具,既保持了硬质合金基体的韧性又具有高硬度、低摩擦系数和良好的润滑性能和散热性能,解决了PCB微钻或铣刀经常出现的断刀、粘刀、夹板、撕裂、拉毛等问题。专利说明—种氮氧化铬和类金刚石膜复合涂层PCB微细...
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