技术编号:3299957
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种热致变色薄膜材料及制备方法。该薄膜材料为La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3。采用固相反应法制备La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3块体材料,再将块体材料进行机械加工,制备出状靶材;对基片和靶材进行清洗;安装好靶材和基片,向溅射室内充入氩气和氧气的混合气体,调节气压为0.8Pa,调节氧气含量在20v%~50v%之间,采用射频磁控溅射制备La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3热致变色薄膜;将薄膜样品在1个大气压下的...
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