一种纤维磁控溅射连续镀金属导电功能薄膜的装置和方法技术资料下载

技术编号:3299959

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属于真空镀膜领域。将纤维丝线缠绕在放卷装置上,然后放入真空室内进行走丝,由放卷装置放出的纤维丝线多次且平行的通过等离子体清洗装置进行清洗、粗化,清洗后的纤维丝线多次且平行的通过等离子体辅助镀膜装置和矩形磁控溅射靶进行镀膜,完成镀膜的纤维丝线收于收卷装置完成镀膜。等离子体清洗装置进行清洗和表面粗化时所通气体为氧气和氩气混合气体,分解纤维上面的油性物质,同时对纤维表面进行粗化处理以增加薄膜的附着力。等离子体辅助装置的作用是通过离子轰击增强薄膜的附着力。本发明解...
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