技术编号:3299982
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种镀膜机坩埚设备。所述镀膜机坩埚设备(100)包括桶状结构(112)、多个加热器(120)、坩埚(110)、多个温度传感器(160)及多个驱动机构(200),所述多个加热器(120)纵向分布在所述桶状结构(112)内并用于对所述坩埚(110)内的材料进行加热,所述多个温度传感器(160)纵向分布在所述坩埚(110)内以测量所述坩埚(110)内的温度,所述多个驱动机构(200)用于使所述多个加热器(120)中的至少一个加热器(120)纵向移动以...
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