技术编号:3301204
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空镀膜领域,具体地说是一种对各种导电材质和绝缘材质的工件内外表面同时进行镀膜的连续性等离子镀膜设备。一种批量化类金刚石涂层镀膜设备,包括DLC镀膜室,DLC镀膜室入口连接有进料室系统,DLC镀膜室出口连接有出料室系统。本实用新型将类金刚石涂层镀膜技术以单个腔体推广至多个腔体,在操作流程上注重镀膜前期缓冲和镀膜后期冷却缓冲,解决了镀膜前期工件组装、烘烤、表面清洗和后期工件的冷却等问题,大量节约镀膜时间,另外,镀膜真空要求上实现了切换自如、抽速...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。