技术编号:3301891
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种研磨垫整理器及研磨装置,所述研磨装置包括内研磨盘、环形的外研磨盘、内盘旋转电机、外盘旋转电机、内盘支撑架以及外盘支撑架,所述内盘支撑架的一端与所述内研磨盘的非工作表面固定连接,另一端与所述内盘旋转电机连接,所述外盘支撑架的一端与所述外研磨盘的非工作表面固定连接,另一端与所述外盘旋转电机连接,所述内研磨盘的外径小于所述外研磨盘的内径,所述内研磨盘与所述外研磨盘同轴设置,所述内研磨盘和所述外研磨盘能够相对独立上下移动。其可以解决研磨盘过大其...
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