技术编号:3302601
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供具有流量阀门的负载锁定腔室以及应用具有流量阀门的负载锁定腔室的用于形成器件的装置。所述负载锁定腔室用于将传递腔室连接到工厂界面,或者用于连接两个传递腔室。当所述负载锁定腔室在相邻的传递腔室之间时,所述负载锁定腔室具有在负载锁定腔室内的流量阀门,所述流量阀门密封所述负载锁定腔室的内表面。因此可以在常压下达成负载锁定,而无需破坏传递腔室中的真空,这是因为常压将门压抵在内表面上。当所述负载锁定腔室在传递腔室和工厂界面之间时,一个流量阀门设置在负载锁...
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