技术编号:3302689
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种石英坩埚打磨装置,主运动机构的第一滑轨截面形状为矩形,第二滑轨截面形状为三角形;龙门架固定安装于底座,第一方向拖板可滑动地设置于第一方向滑轨,第二方向滑板可滑动设置于第二方向滑轨,第一方向滑轨远离底座的滑轨截面为矩形,第一方向滑轨靠近底座的滑轨截面形状为燕尾形,第二方向滑轨的截面形状均为燕尾形,主轴电机安装于第二方向滑板,主轴电机驱动平面磨头,伺服电机组件通过滚珠丝杠驱动工作台、第一方向拖板和第二方向滑板;伺服电机通过滚珠丝杠驱动方式,摩擦损失小,降低...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。