技术编号：3304277
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种MOCVD设备尾气管路结构，其沿反应腔气体管路从左向右依次包括反应腔，大球阀，第一过滤器，压力控制阀，真空泵，氮气稀释系统，尾气处理系统；其预流气体管路依次包括预留管路、第一气动阀，且所述第一气动阀的出口通过管路与所述反应腔气体管路相通，所述第一气动阀的出口通过管路连通在所述第一过滤器与所述压力控制阀之间，所述真空泵与所述尾气处理系统之间还设置有第二过滤器。该实用新型可以有效避免预流气体管路和反应腔气体管路在气体切换的过程中引起的反应腔...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。