技术编号:3305019
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型包括酸性蚀刻机,与蚀刻机的蚀刻液出口管道连接且对蚀刻机的铜萃取-反萃取箱,铜萃取-反萃取箱设置有酸性废蚀刻液入口,含铜反萃取剂出口,反萃取剂入口,铜萃取剂出口,提铜废蚀刻液出口和铜萃取剂入口,铜萃取剂出口与铜萃取剂入口通过管道相连;还包括与蚀刻机的蚀刻液入口管道连接的蚀刻液组份调节的组份调配缸;还包括与上述含铜反萃取剂出口相连的电解沉积槽,电解沉积槽内包含多个小的电解槽,该小的电解槽由多个用作阳极的钛活性板和用作阴极的紫铜片并联组成;电解沉积槽整...
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