技术编号:3305073
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种溅射处理室中的工艺套件,包括圆形卡环、接地屏蔽件、定位螺钉、外毂、隔离件和内毂,其中内毂和外毂通过螺纹连接;所述内毂为中空结构,其贯穿地装于接地屏蔽件上,内毂靠近接地屏蔽件的端部具有卡在接地屏蔽件上的凸缘以及限制隔离件的卡台;所述外毂为中空结构,其远离接地屏蔽件的端部具有限制隔离件的卡台;所述隔离件为中空结构,其安装在内毂中;所述定位螺钉依次穿过外毂、隔离件和内毂将圆形卡环和接地屏蔽件连接。本实用新型采用螺纹连接的外毂和内毂,并且利用内...
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