技术编号:3305160
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种陶瓷/金属纳米多层薄膜制备方法,特别是涉及。背景技术高硬度多层薄膜,特别是氮化物多层薄膜体系,它们的高硬度在材料组合上的多样性和其性能上的可选择性,展示了这类薄膜在包括工具涂层和装饰涂层在内的各种表面强化和表面改性领域广阔的应用前景。纯金属(如镍)具有良好的塑性,氮化物(如氮化钛)陶瓷具有高硬度,两者的结合能获得优越的力学性能。其原因有一是由于金属与氮化物的晶体结构及滑移系的不同, 对位错的移动和裂纹的扩展起阻碍作用,将引起硬度的升高;二是塑...
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