技术编号:3306029
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种真空镀膜机,包括基材、控制系统、真空镀膜室、真空取件室和真空装件室,所述的真空镀膜室分别通过阀门与真空取件室和真空装件室连接,所述的真空镀膜室内设有基材、工件车、蒸发装置和循环轮转式传动机构,循环轮转式传动机构安装在工件车上,基材沿循环轮转式传动机构布置,对应基材的一面或双面设置有蒸发装置,真空镀膜室上还设有充气阀和若干阀门,阀门上连接有真空泵。本实用新型真空镀膜机具有设备通用性强、生产效率高和占地面积小的优点。专利说明一种真空镀膜机[...
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