技术编号:3306066
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种表面精密加工装置,属于精密加工。该装置包括真空室,在真空室内设置有加工装置,加工装置上用夹具夹有工件,其中,加工装置上连接有横向驱动装置和纵向驱动装置;工件垂直上方设置有光栅遮挡物,光栅遮挡物上方设置有激光干涉仪和传感器,激光干涉仪和传感器上分别设置有信号线与设置在真空室外的工位机相连接;真空室侧面上设置有离子发生器,离子发生器发射口与工件相对。本实用新型通过采用离子束加工方式针对工件表面进行加工,并利用真空室来控制,通过传感器反馈,并通...
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