技术编号:3306639
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及沉积炉,尤其是涉及一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉,包括若干组水平设置的石墨烯沉积系统和用于加热石墨烯沉积系统的移动炉体,移动炉体可以在若干组石墨烯沉积系统之间切换。本实用新型的一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉,移动炉体沉积后可退出沉积区,隔热罩内设有的风淋系统和抽风系统可实现石墨烯沉积系统快速降温,大大缩短了冷却时间;一组移动炉体对应多组石墨烯沉积系统,彼此相互独立,实现沉积过程的多工位操作,可在第一套沉积时,对其他套进行装样、抽真空等...
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