技术编号:3306759
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种可调式装片装置,包括一固定组件和一调节组件,调节组件安装在固定组件上,通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。与现有技术相比,该装片装置稳固安装基片,操作方便,依据基片的大小,灵活变化安装的宽度与高度,适用于安装各种不同规格的基片,装置的横截面积小,在真空镀膜生产线中占用镀膜腔室空间小,结构简单,用材少,节约资源,便于大规模生产,因此其应用前景十分广阔。专利说明—种可调式装片装直[0001]本实用新型涉及装片装置,具体说,是涉及一种真...
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