技术编号:3306764
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种真空镀膜生产线,其包括传送流水线和镀膜流水线,镀膜流水线与传送流水线连接;传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置,传送车在所述轨道上运行,通过传送车传送装片装置;镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室。与现有技术相比,传送流水线和镀膜流水线首尾相连形成一环形流水线,节约占地面积,整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制,节约人力物力,提供生产效率,镀膜...
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