技术编号：3307103
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型为化学气相沉积设备的工件装卡工具,解决现有装卡工具装卡工件大小受限、工件与舟皿接触面的接触痕迹明显以及部分工件遮挡舟皿通孔，阻碍反应炉内气体的流动，导致反应炉内各工件的涂层厚度和颜色不均匀的问题,由正棱锥体或圆锥体与同轴的位于正棱锥体或圆锥体下面的柱体组成，柱体的直径小于舟皿的孔径和正棱锥体下面正多边形的轴长或圆锥体下面圆的直径，或者为底面为长方形的等腰楔形体，楔形体的顶部为锯齿形，锯齿齿尖截面为等腰或等边三角形，锯齿其它部分截面为等腰梯形。等腰...
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