技术编号：3308218
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。为了提供一种不论保护对象部件为何部件均能够将附着膜的剥离抑制在极低水平的真空成膜装置用防附着板，而以减小与保护对象部件的接触面积、并且使接触面以外隔热的方式配置防附着板。专利说明 [0001] 本发明涉及。 背景技术 [0002] 关于对基材赋予功能膜的方法，存在特征分别不同的各种方法，根据功能膜所追 求的特性或生产性而适当选择使用。蒸镀法或溅射法、CVD法等真空成膜法是通过在真空 腔室内使成膜物质的颗粒附着并堆积于基材上而在基材上形成薄膜的技术...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。