技术编号:3308567
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在此提供具有射频(RF)返回路径的基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中,基板支撑件可包括介电支撑主体、夹具电极和RF返回路径电极,所述介电支撑主体具有支撑表面和相对的第二表面,所述支撑表面用以在其上支撑基板;所述夹具电极位于支撑主体内并靠近支撑表面;所述RF返回路径电极位于介电支撑主体的第二表面上。在一些实施方式中,基板处理系统可包括处理腔室、屏蔽件和基板支撑件,所述处理腔室具有内容积;所述屏蔽件将内容积分为处理容积和非处理容积,并且所述屏蔽件朝向处理腔...
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