技术编号:3308667
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提出一种ALD覆层设备。ALD覆层设备(100)具有用于金属有机的初始材料(6)的储存容器(1);和包括调节阀(3)、压力表(4)、压力隔板(5)和第一多通阀(10)的装置(2),其中装置(2)设置在储存容器(1)的下游,并且第一多通阀(10)能够在处理室(7)和收集室(8)之间切换。专利说明ALD覆层设备 [0001] 提出一种ALD覆层设备和一种用于运行ALD覆层设备的方法。 发明内容 [0002] 待实现的目的在于,提出一种用于尤其用成本有...
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