技术编号：3308684
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。沉积装置(100)使材料颗粒(P)沉积，其包括离子化部(20)，其在被供应材料颗粒(P)的反应室中利用光电效应使材料颗粒(P)离子化；以及电极部(32、34)，其利用库仑力将离子化的材料颗粒(P)向给定的区域引导。专利说明 [0001]本发明涉及。 背景技术 [0002]作为将材料沉积于基板的沉积装置，已知例如溅射装置、真空蒸镀装置、 (0161111081 ^^0^ 061)08111011化学气相沉积)装置等。作为这种沉积装置，离子电镀装置由...
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