技术编号:3308697
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明利用通过加热生成的有机化合物的蒸气以高成膜速率形成有机薄膜。将成膜室(43)配置到缓冲室(42)的内部,将中央辊(17)的一部分侧面从成膜室开口(54)插入到成膜室(43)内,使基材膜(23)一边紧贴在该部分的侧面上一边行进。从连接在成膜室(43)上的蒸气生成装置(26)将蒸气通过载气运输,通过冷却装置(30)将中央辊(17)冷却,将基材膜(23)冷却到蒸气的冷凝温度以下的温度,通过释放到成膜室(43)内的蒸气在基材膜(23)的表面上形成有机原料层(...
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