技术编号:3308712
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在步骤1的升压步骤中,利用PCV(54)对原料容器(60)内供给运载气体,使原料容器(60)内上升至第一压力P1。在步骤2的降压步骤中,使排气装置(35)工作,从原料气体供给管(71)经由排气旁通管(75)将原料气体废弃,使原料容器(60)内下降至作为第二压力的压力P2。在步骤3的稳定化步骤中,一边将运载气体导入原料容器(60)内,一边使排气装置(35)工作,从原料气体供给管(71)经由排气旁通管(75)将原料气体废弃,使原料容器(60)内的原料气化的气化...
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