技术编号:3308729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于通过使基底(20,30)的表面(32)承受第一前体和第二前体的相继表面反应来处理基底的表面(32)的设备和方法。所述设备包括喷嘴头(6,7),所述喷嘴头具有两个或者更多个前体喷嘴;和运动机构(8,10),所述运动机构用于使喷嘴头(6,7)以非线性振荡运动的方式沿第一运动方向和第二运动方向在第一极限位置(B)和第二极限位置(C)之间运动经过中央位置(A)。所述运动机构包括第一驱动装置(21,22),其用于使喷嘴头(6,7)沿第一运动方向加速以及...
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