技术编号:3309819
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种超声微磨削加工设备及工艺,包括隔振工作台,隔振工作台上固定有左右对称设置的立柱,立柱之间通过横梁连接,横梁上设置有带动磨削装置高速旋转的主轴组件,主轴组件的下方设置有超声振动平台,超声振动平台为由压电叠层作动器驱动,以极坐标系为工作坐标系的二维超声振动平台。本发明提供的单驱动极坐标二维超声微磨削加工设备,在加工过程中选用压电叠层作动器替代现有常用的超声变幅杆作为驱动源,振幅和频率都可调的同时,大大简化了超声振动平台的结构;同时提供干、湿磨削...
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