技术编号:3310012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于靶材制造,具体涉及一种。金属粉体的选用,将热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中,金属粉体采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂,对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得超低氧含量热喷涂管靶。制备的超低氧含量热喷涂管靶的氧含量为1-2000ppm,纯度为99-99.999%,平均粒径为1-100微米,孔隙率为0.1-3%。本发明设计合理,简单易行,适用于工业化生产,制备的超低氧含量热喷涂管靶具有超低的氧含量、细小的晶粒和高的致密度。专利说明[000...
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