技术编号：3310097
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。，包括按比例将氮化钛粉和金属铝粉混合制粉；将混合均匀的复合粉末过筛，然后加入到配套模具中，并平铺均匀；将模具置于热压烧结炉中，采用惰性气体，温度为650-1000摄氏度，压力40-50Mpa范围进行烧结；保温保压2-3小时停止加热，冷却至80摄氏度出炉；对烧结好后的复合靶材按照图纸进行加工处理，即可得到成品。本发明的方法改善制粉、成型和烧结工艺及氮化钛、金属铝的复合化，从而研制出性能更加优良的氮化钛铝复合靶材。专利说明[0001]本发明属于镀膜靶材的制造，...
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