技术编号:3310277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种研磨部件的外形调整方法,分别在沿砂轮修整器(5)的摆动方向预先设定在研磨部件(10)上的多个摆动区间(Z1~Z5)对研磨部件(10)的表面高度进行测量,计算目前外形与研磨部件(10)的目标外形的差值,所述目前外形根据表面高度的测量值而得,对多个摆动区间(Z1~Z5)的轮修整工具(5)的移动速度进行补正以消除该差值。采用本发明,能实现作为目标的研磨部件的外形。专利说明研磨装置所使用的研磨部件的外形调整方法以及研磨装置[0001]本发明涉及一种对晶片等基板...
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