技术编号:3310347
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种制备金刚石膜的装置,其采用微波等离子体化学气相沉积装置,该装置包括微波系统、真空系统、供气系统和等离子反应室,等离子反应室中设有一自旋转基片台,工作过程中微波系统产生的微波进入等离子反应室,在自旋转基片台上方激发供气系统提供的气体产生等离子体球,在自旋转基片台上方还设有耐高温金属圆环,该耐高温金属圆环位于等离子球内部下半部分。专利说明[0001]本发明属于真空微电子,具体涉及。背景技术[0002]金刚石具有极高的硬度,并在室温下具有极高热导率...
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