一种螺旋形研磨抛光盘的制作方法技术资料下载

技术编号:3310787

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本发明涉及一种螺旋形研磨抛光盘,适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括由电机驱动的研磨抛光盘、转动轴、工件安装头、滑块、直线导杆、连杆和移动块,研磨抛光盘的盘体为立体螺旋状,盘体的表面上设有U凹槽,U型凹槽底面为研磨抛光盘的加工面,型凹槽底面的磨料粒度从上至下递减;工件装夹在工件安装头沿着U型凹槽从下往上运动。本发明结构简单紧凑,成本较低,自动化程度高,通过控制研磨盘不同部分的磨料粒度,可以对工件进行不同程度精度的加工;研磨抛光盘转...
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