技术编号:3310859
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及。本发明揭示一种形成具有锗和碲的相变材料的方法,其包括将含锗材料沉积于衬底上。所述材料包括呈元素形式的锗。使包含碲的气态前体流动到所述包含锗的材料上且从所述气态前体移出碲以与所述包含锗的材料中所述呈元素形式的锗反应,从而在所述衬底上形成相变材料的包含锗和碲的化合物。本发明还揭示其它实施方案。专利说明[0001]分案申请的相关信息[0002]本案是分案申请。该分案的母案是申请日为2010年3月22日、申请号为201080016720.7、发明名称为...
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