技术编号:3310871
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。本发明的技术方案为现有的常规铁镍因瓦合金由Ni、Fe和允许的杂质组成,所述允许的杂质包括C,其中所述Ni的质量分数为34.0%~38.0%,所述C的质量分数为0.001%~0.1%,余量为Fe;所述大规模集成电路制造装备用因瓦合金为在保持所述常规铁镍因瓦合金成分的基础上添加Ti,所述Ti的质量分数为0.01%~0.5%;所述Ti与所述C发生反应原位生成强化相TiC。本发明解决了常规铁镍因瓦合金拉伸强度较低,不能满足大规模集成电路制造装备生产使用...
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