技术编号：3313387
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种钻晶膜的镀膜方法及其设备。钻晶膜的镀膜方法，包括以下步骤基片清洗；打开镀膜设备的工作仓，基片装夹于镀膜设备的镀膜架；关闭工作仓，抽真空；对靶材进行预加热，预加热至300-500℃，预热时间为1-2分钟；启用离子源，对基片进行离子清洗，清洗时间为3-5分钟；对基片进行镀膜；工作仓的温度自然降温至60℃，释放真空，打开工作仓，取下基片。本发明在玻璃基片上采用镧化物作为靶材，并采用电阻式加热蒸发进行镀膜，可以提高玻璃表面抗划伤能力到8H以上，使玻...
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