技术编号:3314092
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种电子束调节。所描述的实施例一般地涉及调整输出或电子束的调节。更具体而言,公开了涉及将入射到工件的电子束的足迹保持在所限定的能量水平内的各种构造。这样的构造允许电子束仅将工件的特定部分加热到在其中金属间化合物分解的过热状态。在一个实施例中,公开了阻止电子束的低能量部分接触工件的掩模。在另一个实施例中,电子束可以用将电子束保持在一能量水平以使得基本所有的电子束在阈值能量水平之上的方式被聚焦。专利说明电子束调节 [0001]所描述的实施例一...
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