技术编号:3314452
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。具有柔软且可修整的抛光层的多层化学机械抛光垫层叠体.本发明提供了一种多层化学机械抛光垫层叠体,其包括抛光层、刚性层以及将所述抛光层与所述刚性层粘结的热熔粘合剂;其中所述抛光层的密度大于0.6克/厘米3,肖氏D硬度为5-40,断裂伸长率为100-450%,切割速率为25-150微米/小时;以及其中所述抛光层具有适合用来对基材进行抛光的抛光表面。专利说明具有柔软且可修整的抛光层的多层化学机械抛光垫层叠体 [0001]本发明涉及多层化学机械抛光垫层叠体及其...
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