技术编号：3314817
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了。所述新型ZnO基热电薄膜为Al和Ti共掺杂的ZnO热电薄膜，其化学式表示为Zn1-x-yAlxTiyO(0.005≤x≤0.04，0.005≤y≤0.04)。本发明通过在Al掺杂ZnO热电薄膜的基础上引入Ti作为第二种掺杂元素。Al和Ti共掺杂后ZnO热电薄膜的电导率显著提高，另外由于Ti的引入ZnO热电薄膜的有效态密度提高，因而其高温塞贝克系数也同时得到提高。本发明解决了热电薄膜的电导率和塞贝克系数不能同时提高的问题，新型的Zn1-x-yA...
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