技术编号:3314841
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种坩埚,包括第一本体和第二本体,第一本体包括筒形第一侧壁和连接于第一侧壁底端部的埚底;第二本体包括筒形第二侧壁,第二侧壁的上端部具有坩埚开口,下端部连接于第一侧壁上端部;第二本体的导热系数大于第一本体的导热系数。由于给坩埚加热的加热部件通常设于第一本体,故当热量由第一本体传导至第二本体处过程中,由于第二本体的导热系数相对较大,故可降低热量损耗,使得第二本体的坩埚开口处的温度相对较高,从而可减少甚至避免蒸镀材料在坩埚开口处凝结而减少封口现象;第二...
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