技术编号:3315311
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,所述非晶氧化物薄膜化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18(0≦x≦0.5)。制备步骤为将称量好的Zn(NO3)2·6H2O、Al(NO3)3·9H2O及SnCl2+NH4NO3分别溶解于二甲氧基乙醇、乙酰丙酮以及氨水组成的混合溶液中,配成前驱体溶液,并在常温~50℃下搅拌6~24h,经过滤后按ZnAlSn=4x7(0≦x≦0.5)比例混合均匀,陈化4~24h;在衬底上旋涂成膜,并进行退火处理,得到薄膜的厚度为10~50nm;本发明制得的薄...
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